光譜儀(1) 不同的 X 射線管所發(fā)生的 X 射線能量分布是不一樣的。熒光 X 射線的激發(fā)效率取決 于各元素吸收端的能量和照射的 X 射線能量。。 (2) 在陽極上，根據(jù)目的不同，有鎢、鉬、銠、鉻、銅等種類。本公司在 SFT（熒光 X射線膜厚儀）中使用的是鎢、鉬，在 SEA（熒光 X 射線分析儀）中使用的是銠、鉬（SEA5000）。鎢靶適用于 Sn 和 Ag 等的發(fā)生高能量熒光 X 射線的元素，是一種可以適用于原子序號22（Ti）以上元素的燈。鉬靶適用于 Au（特別是極?。┑鹊脑販y定，因為 L 線可以用于激發(fā)，所以在 Al 等的輕元素測定中。銠靶適用于進行元素分析時。從特性角度來講，與鉬靶類似，但是在進行 Zr 等的測定時，可以說雙鉬靶的元素分析所適應(yīng)的范圍更廣。因為銠靶不能用于 Pd 的測定，所以在 SEA5000 中，鉬靶為標配品。

光譜儀(2) 分辨率是檢測器的問題.對于 ESI英飛思 的儀器而言,照射面積增大,效果比較好一點,比如說 可調(diào)光斑面積的 X 射線系統(tǒng),1MM 光斑的測試效果比 5MM 的測試效果差很多。 (3) 照射面積的大小直接影響測試結(jié)果的準確性，在所有測試條件不變的情況下，測試面積越大，測試的強度越高，和分辨率沒有關(guān)系，直接影響分辨率的只有狹縫（準直器）、晶體和探測器。

光譜儀(1) 不同樣品的抽真空時間是不一樣的，有的較短，有的較長，如氧化鋁樣品就需要較長的時間來抽真空，可能和樣品表面吸附的水份有關(guān)。除了樣品外，還應(yīng)該檢查一下系統(tǒng)是否漏氣，真空泵的能力是否下降。 (2) 如果是燒結(jié)的樣品，抽的時間也比較長.表明多孔的結(jié)構(gòu)，比較容易吸附空氣或水分.所以抽真空時間長。