熒光光譜儀(1) 取各種標(biāo)準(zhǔn)樣品來測試（例如銅合金、鋁合金、PVC、PE 樣品等），每種樣品用相對應(yīng)的方法來測試（例如銅合金就用金屬 FP 法來測試），計算與標(biāo)準(zhǔn)值之間差距。 每個樣品測試 3－5 次，取均值，然后對比所用的儀器的允許誤差就可以知道是否合格。文件上的誤差范圍只是一個參考，可以自己選擇一個對本公司的誤差范圍作為儀器的標(biāo)準(zhǔn)誤差允許范圍。 (2) 針對 EDXRF 目前有《半導(dǎo)體探測器 X 射線能譜儀通則》《金屬覆蓋層覆蓋層厚度測量 X 射線光譜方法》等相關(guān)，另每個公司和機構(gòu)內(nèi)部都有自己一套的標(biāo)樣測試重復(fù)性和穩(wěn)定性要求。ESI英飛思 儀器標(biāo)準(zhǔn)，PE 料 Cd,Pb,Hg,Cr 在 100ppm 時相對誤差不得大于 15%，Br，Cl 在 1000ppm 時相對誤差不得大于 30% 。

熒光光譜儀(1) 不同的 X 射線管所發(fā)生的 X 射線能量分布是不一樣的。熒光 X 射線的激發(fā)效率取決 于各元素吸收端的能量和照射的 X 射線能量。。 (2) 在陽極上，根據(jù)目的不同，有鎢、鉬、銠、鉻、銅等種類。本公司在 SFT（熒光 X射線膜厚儀）中使用的是鎢、鉬，在 SEA（熒光 X 射線分析儀）中使用的是銠、鉬（SEA5000）。鎢靶適用于 Sn 和 Ag 等的發(fā)生高能量熒光 X 射線的元素，是一種可以適用于原子序號22（Ti）以上元素的燈。鉬靶適用于 Au（特別是極薄）等的元素測定，因為 L 線可以用于激發(fā)，所以在 Al 等的輕元素測定中。銠靶適用于進行元素分析時。從特性角度來講，與鉬靶類似，但是在進行 Zr 等的測定時，可以說雙鉬靶的元素分析所適應(yīng)的范圍更廣。因為銠靶不能用于 Pd 的測定，所以在 SEA5000 中，鉬靶為標(biāo)配品。

熒光光譜儀(1) 用熒光Ｘ射線法算出單位面積的質(zhì)量（目標(biāo)元素的附著量：g/m2）非實際質(zhì)量。不能檢出鍍層里空隙的存在。用附著量除以目標(biāo)元素的密度（g/cm3）換算成厚度（mm）。實際鍍層密度不同的話，會產(chǎn)生誤差。 (2)測厚度可選用無標(biāo)樣的薄膜 FP 法，也可選用標(biāo)準(zhǔn)曲線法，標(biāo)準(zhǔn)曲線法需要樣品，其標(biāo)稱值好覆蓋產(chǎn)品規(guī)格的上下限。 (3)測試厚度主要有兩種方法：發(fā)射法和吸收法，前者測鍍層元素的強度，后者測基體元素的強度。