X熒光光譜(1) 每個元素的特征X熒光有不同的波長和能量，波長色散和能量色散就是利用它的波長和能量的不同來檢測。波長色散利用晶體分光，把不同波長的特征X射線分開，根據Bragg公式和Moseley定律做元素的定性分析；根據元素含量越高，射線的強度就越強，通過一定的方法來校準和校正，進行定量分析。能量色散不用晶體分光，直接用半導體檢測器檢測樣品的特征X射線的能量，進行定性和定量分析(2) 有能量、波長、全反射、同步輻射、X射線微熒光、質子激發(fā)X射線熒光。

X熒光光譜光使氣體電離，在電場的作用下，電離后的電子和正離子分別向兩極運動，在電子向陽極的運動過程中逐漸被加速而獲得更高的動能。這些電子與氣體分子碰撞時，將引起進一步的電離，產生大量的電子涌到陽極，產生一次雪崩效應，起到放大的作用。實際上一個光子就產生一次雪崩，用一個計數器來探測所產生的電脈沖就可計算光子的數量。

X熒光光譜(1) 原子序數較低的元素（或基體）對能量較高的譜線吸收系數較低，因此厚度也就大一點(2) Sb的K線能量較高，能穿透更厚的樣品（相對本樣品中的其他元素的特征射線），所以飽和厚度也就比其他元素厚。