熒光光譜(1) 不同的 X 射線管所發(fā)生的 X 射線能量分布是不一樣的。熒光 X 射線的激發(fā)效率取決 于各元素吸收端的能量和照射的 X 射線能量。。 (2) 在陽(yáng)極上，根據(jù)目的不同，有鎢、鉬、銠、鉻、銅等種類(lèi)。本公司在 SFT（熒光 X射線膜厚儀）中使用的是鎢、鉬，在 SEA（熒光 X 射線分析儀）中使用的是銠、鉬（SEA5000）。鎢靶適用于 Sn 和 Ag 等的發(fā)生高能量熒光 X 射線的元素，是一種可以適用于原子序號(hào)22（Ti）以上元素的燈。鉬靶適用于 Au（特別是極?。┑鹊脑販y(cè)定，因?yàn)?L 線可以用于激發(fā)，所以在 Al 等的輕元素測(cè)定中。銠靶適用于進(jìn)行元素分析時(shí)。從特性角度來(lái)講，與鉬靶類(lèi)似，但是在進(jìn)行 Zr 等的測(cè)定時(shí)，可以說(shuō)雙鉬靶的元素分析所適應(yīng)的范圍更廣。因?yàn)殂櫚胁荒苡糜?Pd 的測(cè)定，所以在 SEA5000 中，鉬靶為標(biāo)配品。

熒光光譜(2) 分辨率是檢測(cè)器的問(wèn)題.對(duì)于 ESI英飛思 的儀器而言,照射面積增大,效果比較好一點(diǎn),比如說(shuō) 可調(diào)光斑面積的 X 射線系統(tǒng),1MM 光斑的測(cè)試效果比 5MM 的測(cè)試效果差很多。 (3) 照射面積的大小直接影響測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性，在所有測(cè)試條件不變的情況下，測(cè)試面積越大，測(cè)試的強(qiáng)度越高，和分辨率沒(méi)有關(guān)系，直接影響分辨率的只有狹縫（準(zhǔn)直器）、晶體和探測(cè)器。

熒光光譜(1) 取各種標(biāo)準(zhǔn)樣品來(lái)測(cè)試（例如銅合金、鋁合金、PVC、PE 樣品等），每種樣品用相對(duì)應(yīng)的方法來(lái)測(cè)試（例如銅合金就用金屬 FP 法來(lái)測(cè)試），計(jì)算與標(biāo)準(zhǔn)值之間差距。 每個(gè)樣品測(cè)試 3－5 次，取均值，然后對(duì)比所用的儀器的允許誤差就可以知道是否合格。文件上的誤差范圍只是一個(gè)參考，可以自己選擇一個(gè)對(duì)本公司的誤差范圍作為儀器的標(biāo)準(zhǔn)誤差允許范圍。 (2) 針對(duì) EDXRF 目前有《半導(dǎo)體探測(cè)器 X 射線能譜儀通則》《金屬覆蓋層覆蓋層厚度測(cè)量 X 射線光譜方法》等相關(guān)，另每個(gè)公司和機(jī)構(gòu)內(nèi)部都有自己一套的標(biāo)樣測(cè)試重復(fù)性和穩(wěn)定性要求。ESI英飛思 儀器標(biāo)準(zhǔn)，PE 料 Cd,Pb,Hg,Cr 在 100ppm 時(shí)相對(duì)誤差不得大于 15%，Br，Cl 在 1000ppm 時(shí)相對(duì)誤差不得大于 30% 。