光譜儀X 射線是一種電磁波，波長比紫外線還要短，為 0.001‐ 10nm 左右。X 射線照射到 物質(zhì)上面以后，從物質(zhì)上主要可以觀測到以下三種 X 射線。熒光 X 射線、散射 X 射線、透過 X 射線，ESI英飛思NT 產(chǎn)品使用的是通過對一種熒光 X 射線的測定，從物質(zhì)中獲取元素信息（成分和膜厚）的熒光 X 射線法原理。物質(zhì)受到 X 射線的照射時，發(fā)生元素所固有的 X 射線（固有 X 射線或者特征 X 射線）。熒光 X 射線裝置就是通過對該 X 射線的檢測而獲取元素信息。

光譜儀(1) 要分清楚關(guān)注的對象，熒光分析儀較常見的兩類為膜厚儀與元素分析儀，其針對的目標(biāo)不同。如測厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜檢量線法,測元素則用塊體 FP 法與塊體檢量線法。

光譜儀(1)準(zhǔn)直器的作用是將發(fā)散射線變成平行射線束，是由一系列間隔很小的金屬片制成。 (2) 準(zhǔn)直器由平行金屬板組成，其片間距越小，分辨率越高，強(qiáng)度也越小。(3) 光纖準(zhǔn)直器是光纖通信系統(tǒng)的基本光學(xué)器件，其作用是把光纖中發(fā)散的光束變成準(zhǔn)直光，使其以非常小的損耗耦合到光纖中。 (4) 準(zhǔn)直器有方型的,也有圓形的,是限制 X 射線對應(yīng)于樣品的測量作用范圍. 11.我們用的熒光分析儀攝像頭沒法用，看不到檢測樣品的部位，就是打開之后什么也不顯示，不知道是什么原因？ 答：(1)可能是數(shù)據(jù)線接口松了，可以把接電腦的ＵＳＢ線撥掉再接上，或者查看ＣＣＤ視頻卡線有無松動。 (2) 完成以上步驟后，可以重啟電腦再檢查。 (3) 還有一種可能，早期 USB 線傳輸速度慢，如傳輸數(shù)據(jù)包大或過快有可能導(dǎo)致數(shù)據(jù)阻塞，此時可以升級或放好樣品關(guān)閉視窗再檢測樣品。