X熒光光譜儀(1) 能散和波散的區(qū)別應(yīng)該先從 X 射線性質(zhì)說起：X 射線作為電磁波的一種具有明顯的波、粒二項性。波具有波長、頻率，還有反射、折射、衍射等性質(zhì)，粒子具有質(zhì)量、速度、動能、勢能等性質(zhì)。以此兩個不同物理性質(zhì)研發(fā)的研究波長的 X 熒光光譜儀叫波長散射型熒光光譜儀，研究能量的 X 熒光光譜儀叫能量散射型熒光光譜儀。 (2)波長色散X射線熒光光譜像原子的發(fā)射\吸收光譜儀一樣,是需要單獨的色散光學(xué)系統(tǒng)分辨不同的特征 X 射線激發(fā)的二次熒光光譜,然后才由輻射檢測器(比如正比計數(shù)器\半導(dǎo)體檢測器等)檢出;而能量色散型 X 射線熒光光譜儀不象前者需要單獨色散系統(tǒng),它的二次熒光光譜色散及檢出都是由輻射檢測器根據(jù)其不同的能量值將其檢出并放在計算機或者單片機內(nèi)。

X熒光光譜儀X 射線是一種電磁波，波長比紫外線還要短，為 0.001‐ 10nm 左右。X 射線照射到 物質(zhì)上面以后，從物質(zhì)上主要可以觀測到以下三種 X 射線。熒光 X 射線、散射 X 射線、透過 X 射線，ESI英飛思NT 產(chǎn)品使用的是通過對一種熒光 X 射線的測定，從物質(zhì)中獲取元素信息（成分和膜厚）的熒光 X 射線法原理。物質(zhì)受到 X 射線的照射時，發(fā)生元素所固有的 X 射線（固有 X 射線或者特征 X 射線）。熒光 X 射線裝置就是通過對該 X 射線的檢測而獲取元素信息。

X熒光光譜儀(1) 要分清楚關(guān)注的對象，熒光分析儀較常見的兩類為膜厚儀與元素分析儀，其針對的目標(biāo)不同。如測厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜檢量線法,測元素則用塊體 FP 法與塊體檢量線法。