真空泵維修中比較嚴(yán)重的問題是氣密性破壞，抽不到真空的狀態(tài)。我們?cè)谑褂谜婵毡脮r(shí)要對(duì)這方面引起關(guān)注。當(dāng)該故障發(fā)生時(shí)，應(yīng)當(dāng)首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次，應(yīng)當(dāng)打開氣鎮(zhèn)，讓泵運(yùn)行30min左.. 全文

Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏 全文

當(dāng)愛德華分子泵維修M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。 全文

萊寶leybold真空泵漏油。可以發(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標(biāo)、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮(zhèn)閥(例如2X-8)等部位?？捎擅芊饧匣惭b不當(dāng)，損壞失效，表面不平整、.. 全文