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當(dāng)愛德華分子泵控制器M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。在再次打開愛德華分子泵控制器之前，請(qǐng)確保水路暢通。當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。
當(dāng)愛德華分子泵控制器出現(xiàn)故障無法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。

大神們！麻煩回答一下如何對(duì)真空泵維修維護(hù)？

經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油，確保真空泵工作正常。全文
大神賜教！如何維修Edwards二手分子泵？

真空度很好的情況下，Edwards二手分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？原因：油池裂開或密封不良解決方法：檢查油池全文
請(qǐng)問：愛德華分子泵控制器維修要注意什么內(nèi)容？還請(qǐng)不吝賜

愛德華分子泵控制器每次停機(jī)后，必須清洗每個(gè)分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。全文
島津分子泵在維修當(dāng)中，我們要注意哪些問題點(diǎn)？在線等

開動(dòng)電機(jī)，當(dāng)島津分子泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和進(jìn)口真空泵，視其顯示出適當(dāng)壓力后，逐漸打開閘閥，同時(shí)檢查電機(jī)負(fù)荷情況。全文

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