XRF，即原子發(fā)射熒光分析法（X-ray fluorescence analysis），是一種常用的材料檢測(cè)手段。它通過(guò)高能x射線照射樣品，激發(fā)出原子的內(nèi)層電子從而產(chǎn)生各種元素的特征光譜，利用標(biāo)準(zhǔn)譜圖庫(kù)比對(duì)來(lái)確定元素種類(lèi)組成并測(cè)定其含量。這種方法的優(yōu)勢(shì)在于方便快捷、非破壞性測(cè)量以及可以同時(shí)進(jìn)行多元素的分析；但其缺點(diǎn)是只能測(cè)得元素的含量大于1%，對(duì)于微區(qū)分布或超低本底要求時(shí)需要更精密準(zhǔn)確的儀器如ICP - XRF才能實(shí)現(xiàn) 。該方法廣泛應(yīng)用于金屬與合金的材料理化性能檢驗(yàn)、環(huán)境監(jiān)測(cè)及等領(lǐng)域中，具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值和普及程度。