光譜儀(1) 要分清楚關注的對象，熒光分析儀較常見的兩類為膜厚儀與元素分析儀，其針對的目標不同。如測厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜檢量線法,測元素則用塊體 FP 法與塊體檢量線法。

光譜儀(1) 能散和波散的區(qū)別應該先從 X 射線性質(zhì)說起：X 射線作為電磁波的一種具有明顯的波、粒二項性。波具有波長、頻率，還有反射、折射、衍射等性質(zhì)，粒子具有質(zhì)量、速度、動能、勢能等性質(zhì)。以此兩個不同物理性質(zhì)研發(fā)的研究波長的 X 熒光光譜儀叫波長散射型熒光光譜儀，研究能量的 X 熒光光譜儀叫能量散射型熒光光譜儀。 (2)波長色散X射線熒光光譜像原子的發(fā)射\吸收光譜儀一樣,是需要單獨的色散光學系統(tǒng)分辨不同的特征 X 射線激發(fā)的二次熒光光譜,然后才由輻射檢測器(比如正比計數(shù)器\半導體檢測器等)檢出;而能量色散型 X 射線熒光光譜儀不象前者需要單獨色散系統(tǒng),它的二次熒光光譜色散及檢出都是由輻射檢測器根據(jù)其不同的能量值將其檢出并放在計算機或者單片機內(nèi)。

光譜儀(1)熒光元素分析受限于標樣難以制備或試樣的均勻性，多數(shù)只能做為一種品質(zhì)的管控方法，準確度相對化學分析較低。 (2)素分析中的檢量線法就是以標準物質(zhì)為基礎進行標準曲線分析，如果實際樣品和標準物質(zhì)不一致，那么分析結果肯定也不會很準確，只能做參考。 (3)用基本參數(shù)法測試金屬時，果測試樣品里含有 C、H、O 等輕元素，會出現(xiàn)誤差，因為儀器無法識別這些元素。