愛德華分子泵控制器故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置，此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。 全文

分子泵故障維修方法主要包括以下幾個(gè)方面： 1.氣體泄漏處理 當(dāng)發(fā)現(xiàn)抽氣速度下降或真空度不穩(wěn)定時(shí)，可能是因?yàn)榉ㄌm連接處密封不良、密封圈磨損等原因?qū)е碌膬?nèi)部泄漏。此時(shí)應(yīng)使用檢測(cè)儀器.. 全文

當(dāng)愛德華分子泵維修出現(xiàn)故障無法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。 全文

打開愛德華分子泵維修之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關(guān)閉冷卻水閥。 全文