XRF(1) 每個(gè)元素的特征X熒光有不同的波長(zhǎng)和能量，波長(zhǎng)色散和能量色散就是利用它的波長(zhǎng)和能量的不同來(lái)檢測(cè)。波長(zhǎng)色散利用晶體分光，把不同波長(zhǎng)的特征X射線分開(kāi)，根據(jù)Bragg公式和Moseley定律做元素的定性分析；根據(jù)元素含量越高，射線的強(qiáng)度就越強(qiáng)，通過(guò)一定的方法來(lái)校準(zhǔn)和校正，進(jìn)行定量分析。能量色散不用晶體分光，直接用半導(dǎo)體檢測(cè)器檢測(cè)樣品的特征X射線的能量，進(jìn)行定性和定量分析(2) 有能量、波長(zhǎng)、全反射、同步輻射、X射線微熒光、質(zhì)子激發(fā)X射線熒光。

XRF主要是譜儀室內(nèi)恒溫恒濕（22度左右、濕度60%以下），環(huán)境清潔，電源穩(wěn)定，避免震動(dòng)。當(dāng)不進(jìn)行樣品分析時(shí),光管電流電壓應(yīng)降至低，儀器保持恒溫.

XRF(1) 有的手持式的在頭部裝有一個(gè)校正的樣品，同時(shí)在不用的時(shí)候也可以保護(hù)X射線發(fā)射源。(2) 銅塊作用一是作能量校正，二是在不測(cè)其它樣品時(shí)擋住窗口起保護(hù)作用。