ULVAC真空泵維修保養(yǎng)拆解操作指南一、準(zhǔn)備工作1. 安全防護(hù)：佩戴防油手套、護(hù)目鏡及防靜電手環(huán)，準(zhǔn)備工具套裝2. 系統(tǒng)泄壓：切斷電源后，保持泵體自然冷卻至常溫（約需4-6小時(shí)）3. 油路處理：使用接油裝置回收舊真空油，避免污染環(huán)境二、拆解流程1. 主體分離：按順序拆卸進(jìn)氣濾網(wǎng)（注意密封圈保存）、排氣閥組件2. 轉(zhuǎn)子拆卸：使用熱風(fēng)對(duì)泵體均勻加熱至80℃后拆解轉(zhuǎn)子組（溫差法）3. 腔體分解：按十字交叉順序松開腔體螺栓，檢查腔壁劃痕深度（應(yīng)＜0.02mm）4. 軸承檢測(cè)：使用千分表測(cè)量軸承游隙（標(biāo)準(zhǔn)值＜0.05mm），記錄磨損情況三、關(guān)鍵部件保養(yǎng)1. 油霧分離器：超聲波清洗（40kHz，60℃）后檢測(cè)壓差（應(yīng)＜15kPa）2. 密封系統(tǒng)：更換全部O型圈（優(yōu)先選用氟橡膠材質(zhì)），密封脂涂抹量控制在0.3mm厚度3. 旋片處理：測(cè)量旋片長(zhǎng)度磨損（允許公差±0.01mm），端面研磨至Ra0.4μm四、回裝注意事項(xiàng)1. 扭矩控制：腔體螺栓按對(duì)角順序分三次緊固（終扭距28N·m±10%）2. 動(dòng)平衡測(cè)試：轉(zhuǎn)子組裝配后需做G2.5級(jí)動(dòng)平衡校驗(yàn)3. 真空測(cè)試：空載運(yùn)行30分鐘后檢測(cè)極限真空度（應(yīng)達(dá)5×10?3P別）五、維保周期建議連續(xù)運(yùn)行環(huán)境下：每2000小時(shí)更換真空油及濾芯每5000小時(shí)進(jìn)行軸承潤(rùn)滑脂補(bǔ)充每年進(jìn)鎮(zhèn)閥校準(zhǔn)及泄漏率檢測(cè)重要提示：涉及磁懸浮軸承或分子泵組件時(shí)，必須使用原廠校準(zhǔn)設(shè)備。回裝后需進(jìn)行48小時(shí)磨合運(yùn)行（階梯式升壓），并記錄振動(dòng)值（應(yīng)＜2.5mm/s）。建議保留拆解過程影像記錄以便追溯。