四甲基氫氧化銨（TMAH）是一種化學(xué)物質(zhì)，具有較強(qiáng)的腐蝕性。其分子式是C4H13NO，即氫氧化銨的四個(gè)氫離子被甲基取代后形成的化合物具有一個(gè)強(qiáng)堿性的OH根團(tuán)和TMA+陽離子部分。以下是對(duì)該化合物的優(yōu)缺點(diǎn)的分析：

優(yōu)點(diǎn)

*化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定：優(yōu)秀的熱穩(wěn)定性使其具有高度可靠性；在不超過分解溫度時(shí)非常穩(wěn)定且易于去除、不留殘?jiān)廴井a(chǎn)品。。*溶解性強(qiáng)：作為極性溶劑中的堿性試劑能夠有效地溶解大多數(shù)有機(jī)物,在許多情況下可以代替無機(jī)鹽或醇類使用。此外它還可以用作酸性催化劑的優(yōu)良來源以及極譜試劑等..

*應(yīng)用廣泛多樣:在染料生產(chǎn)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用;也常用于醫(yī)藥及農(nóng)藥制造過程之中;還可用作磺酸型交換樹脂合成原料、電鍍工業(yè)陽極活化劑和除去過氧化物的添加劑；在分析方面用于提純金屬元素以及在有機(jī)硅片生產(chǎn)中常用到光亮清洗觸刻等方面上等等......同時(shí)它還是半導(dǎo)體工藝中常用的蝕刻板正膠顯影液之一，與CMOS工藝兼容并推動(dòng)SOC發(fā)展趨勢(shì)的實(shí)現(xiàn)者呢！