ULVAC真空泵維修保養(yǎng)拆解操作指南一、準(zhǔn)備工作1. 安全防護(hù)：佩戴防油手套、護(hù)目鏡及防靜電手環(huán)，準(zhǔn)備工具套裝2. 系統(tǒng)泄壓：切斷電源后，保持泵體自然冷卻至常溫（約需4-6小時(shí)）3. 油路處理：使用接.. 全文

Edwards真空分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？ 原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源 全文

軸流分子泵維修時(shí)的注意事項(xiàng)主要包括以下幾點(diǎn)： 1.安全操作。在進(jìn)行任何維修保養(yǎng)操作前，務(wù)必切斷分子泵的電源并等待其冷卻至室溫，以防止觸電和的風(fēng)險(xiǎn)發(fā)生；在清理過程中要避免直接接.. 全文

Agilent進(jìn)口分子泵噴油，說明進(jìn)氣口外有大量的漏點(diǎn)，甚至是進(jìn)氣口*露大氣。解決之道：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說明有漏點(diǎn)；排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥。 全文