光譜儀X 射線是一種電磁波，波長比紫外線還要短，為 0.001‐ 10nm 左右。X 射線照射到 物質(zhì)上面以后，從物質(zhì)上主要可以觀測(cè)到以下三種 X 射線。熒光 X 射線、散射 X 射線、透過 X 射線，ESI英飛思NT 產(chǎn)品使用的是通過對(duì)一種熒光 X 射線的測(cè)定，從物質(zhì)中獲取元素信息（成分和膜厚）的熒光 X 射線法原理。物質(zhì)受到 X 射線的照射時(shí)，發(fā)生元素所固有的 X 射線（固有 X 射線或者特征 X 射線）。熒光 X 射線裝置就是通過對(duì)該 X 射線的檢測(cè)而獲取元素信息。

光譜儀(1) 能散和波散的區(qū)別應(yīng)該先從 X 射線性質(zhì)說起：X 射線作為電磁波的一種具有明顯的波、粒二項(xiàng)性。波具有波長、頻率，還有反射、折射、衍射等性質(zhì)，粒子具有質(zhì)量、速度、動(dòng)能、勢(shì)能等性質(zhì)。以此兩個(gè)不同物理性質(zhì)研發(fā)的研究波長的 X 熒光光譜儀叫波長散射型熒光光譜儀，研究能量的 X 熒光光譜儀叫能量散射型熒光光譜儀。 (2)波長色散X射線熒光光譜像原子的發(fā)射\吸收光譜儀一樣,是需要單獨(dú)的色散光學(xué)系統(tǒng)分辨不同的特征 X 射線激發(fā)的二次熒光光譜,然后才由輻射檢測(cè)器(比如正比計(jì)數(shù)器\半導(dǎo)體檢測(cè)器等)檢出;而能量色散型 X 射線熒光光譜儀不象前者需要單獨(dú)色散系統(tǒng),它的二次熒光光譜色散及檢出都是由輻射檢測(cè)器根據(jù)其不同的能量值將其檢出并放在計(jì)算機(jī)或者單片機(jī)內(nèi)。

光譜儀(1)熒光元素分析受限于標(biāo)樣難以制備或試樣的均勻性，多數(shù)只能做為一種品質(zhì)的管控方法，準(zhǔn)確度相對(duì)化學(xué)分析較低。 (2)素分析中的檢量線法就是以標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)為基礎(chǔ)進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)曲線分析，如果實(shí)際樣品和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)不一致，那么分析結(jié)果肯定也不會(huì)很準(zhǔn)確，只能做參考。 (3)用基本參數(shù)法測(cè)試金屬時(shí)，果測(cè)試樣品里含有 C、H、O 等輕元素，會(huì)出現(xiàn)誤差，因?yàn)閮x器無法識(shí)別這些元素。